一、MOS管的結(jié)構(gòu)組成
以N溝道增強(qiáng)型MOS管為例,其構(gòu)建始于一塊摻雜濃度較低的P型半導(dǎo)體硅襯底。借助半導(dǎo)體光刻與擴(kuò)散工藝,在該襯底上形成兩個(gè)高摻雜濃度的N+區(qū),并通過(guò)金屬鋁分別引出漏極D和源極S兩個(gè)電極。在漏極與源極之間的P型半導(dǎo)體表面,覆蓋一層極薄的二氧化硅(SiO2)絕緣層膜。進(jìn)一步地,在這層絕緣層膜之上裝設(shè)一個(gè)鋁電極,即構(gòu)成柵極G。如此設(shè)計(jì)使得柵極與其他電極之間實(shí)現(xiàn)絕緣。
同樣地,若以一塊摻雜濃度較低的N型半導(dǎo)體硅襯底為基礎(chǔ),運(yùn)用半導(dǎo)體光刻、擴(kuò)散工藝制作出兩個(gè)高摻雜濃度的P+區(qū),并遵循與上述相同的柵極制作流程,便能制得P溝道增強(qiáng)型MOS管。以下是N溝道和P溝道MOS管的結(jié)構(gòu)圖及其代表符號(hào)示意。


二、MOS管的工作原理
核心基礎(chǔ):MOS管的工作緊密依賴(lài)于MOS電容。MOS電容位于源極和漏極之間的氧化層下方的半導(dǎo)體表面。通過(guò)在柵極施加正電壓或負(fù)電壓,能夠?qū)崿F(xiàn)該半導(dǎo)體表面從P型到N型的反轉(zhuǎn)。
開(kāi)關(guān)特性:MOS管具備控制源極和漏極之間電壓與電流的能力,其工作原理類(lèi)似于一個(gè)開(kāi)關(guān),而MOS電容則是這一開(kāi)關(guān)功能的核心組件。


導(dǎo)電過(guò)程:當(dāng)漏源電壓(VDS)連接在漏極和源極之間時(shí),漏極為正電壓,源極為負(fù)電壓。此時(shí),漏極的PN結(jié)處于反向偏置狀態(tài),而源極的PN結(jié)處于正向偏置狀態(tài),通常情況下漏極與源極之間無(wú)電流流動(dòng)。
溝道形成:若在柵極端子施加正電壓(VGG),由于靜電引力作用,P襯底中的少數(shù)載流子——電子將在柵極觸點(diǎn)處聚集,進(jìn)而在兩個(gè)N+區(qū)域之間構(gòu)建起導(dǎo)電橋。
電導(dǎo)率控制:在柵極接觸處積累的自由電子數(shù)量受施加正電壓強(qiáng)度的影響。電壓越高,電子積累所形成的N溝道寬度越大,電導(dǎo)率隨之提升,漏極電流(ID)便會(huì)在源極與漏極之間開(kāi)始流動(dòng)。
閾值電壓概念:當(dāng)柵極端子無(wú)電壓施加時(shí),僅存在少量因少數(shù)載流子產(chǎn)生的電流。MOS管開(kāi)始導(dǎo)通所需的最小電壓即為閾值電壓。
類(lèi)型劃分:MOS管分為N溝道和P溝道兩類(lèi),每類(lèi)又細(xì)分為增強(qiáng)型與耗盡型,共計(jì)四種類(lèi)型:N溝道增強(qiáng)型管、N溝道耗盡型管、P溝道增強(qiáng)型管、P溝道耗盡型管。增強(qiáng)型管的特征為當(dāng)柵極-源極電壓UGS為零時(shí),漏極電流也為零;而耗盡型管則是在UGS為零時(shí)漏極電流不為零。
三、增強(qiáng)型MOS管工作原理詳解
增強(qiáng)型MOS管的漏極D和源極S之間存在兩個(gè)背靠背的PN結(jié)。當(dāng)柵-源電壓VGS為零時(shí),即便施加漏-源電壓VDS,總有一個(gè)PN結(jié)處于反偏狀態(tài),導(dǎo)致漏-源極間缺乏導(dǎo)電溝道,無(wú)電流流過(guò),此時(shí)漏極電流ID為零。
若在柵-源極間施加正向電壓,即VGS>0,柵極與硅襯底之間的SiO2絕緣層將產(chǎn)生一個(gè)由柵極指向P型硅襯底的電場(chǎng)。由于氧化物層的絕緣特性,柵極所加電壓VGS無(wú)法形成電流,于是在氧化物層兩側(cè)形成電容結(jié)構(gòu)。VGS相當(dāng)于對(duì)該電容充電并形成電場(chǎng),隨著VGS的逐步升高,受柵極正電壓吸引,電容另一側(cè)聚集大量電子,形成從漏極到源極的N型導(dǎo)電溝道。當(dāng)VGS超過(guò)管子的開(kāi)啟電壓VT(通常約為2V)時(shí),N溝道管開(kāi)始導(dǎo)通,漏極電流ID隨之產(chǎn)生。開(kāi)啟導(dǎo)電溝道時(shí)的柵-源極電壓被稱(chēng)為開(kāi)啟電壓,以VT表示。
通過(guò)調(diào)控柵極電壓VGS的大小,可改變電場(chǎng)強(qiáng)度,進(jìn)而實(shí)現(xiàn)對(duì)漏極電流ID大小的控制。這正是MOS管利用電場(chǎng)控制電流的關(guān)鍵特性,因此其也被稱(chēng)為場(chǎng)效應(yīng)管。
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