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  • MOS電容的基本架構詳解
    • 發布時間:2020-11-24 15:17:07
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    MOS電容的基本架構詳解
    MOS電容的基本架構
    MOSFET結構的核心是金屬-氧化物-半導體電容,即MOS電容。MOS電容自身并不是一種廣泛應用的器件,但是卻是整個MOS晶體管的核心單元。
    MOS中的金屬最初是鋁,現在大多數情況被沉積在氧化物上的多晶硅代替。MOS電容的基本架構如下所示。
    MOS電容的基本架構
    MOS電容的基本架構:圖中,tox是氧化物的厚度,εox為氧化物的介電常數。MOS電容的物理特性可以借助于常見的平板電容來理解。
    下圖是P型半導體的MOS電容結構,頂端的金屬,稱為門極,相對于基底的P型半導體施加負向偏置電壓。門極的金屬端將聚集負電荷,同時呈現出如圖中箭頭所示方向的電場。
    MOS電容的基本架構
    如果電場穿透半導體區域,P型半導體中的空穴會在電場力的作用下向氧化物-半導體界面移動。
    穩定狀態下的電子空穴分布如下圖所示,在氧化物-半導體的界面形成了帶正電的空穴聚集層,而在金屬端即門極形成了電子的聚集層,這和平板電容形成電場的機制相同。這也是MOS電容形成的機理。
    MOS電容的基本架構
    接下來將加載在MOS電容的偏置電壓反向,如下圖所示。在門極端聚集了正電荷,激發的電場方向發生了反轉。在這種狀況下,如果電場強度穿透半導體區域,那么P型半導體中的空穴受到電場力的作用而遠離氧化物-半導體界面。
    MOS電容的基本架構
    空穴被驅離,從而在氧化物-半導體界面處形成負電荷的空間電荷層。門極施加的電壓值越高,感應電場越強。作為少子的自由電子被吸引到氧化物-半導體的交界處,如下圖所示。形成少子載流子電子的區域稱為電子反轉層。
    MOS電容的基本架構
    N型半導體形成的MOS電容機制與P型半導體相類似。下圖是N型半導體MOS電容的結構示意圖,在門級施加正向偏置電壓時,在門級產生正電荷,感應產生出相應的電場;同時在氧化物-半導體界面處產生電子聚集層。
    MOS電容的基本架構
    當在N型MOS電容的門極施加反向偏置電壓時,感應電場在N型半導體的基底區域感應出正的空間電荷區。當施加的電壓增加時,在氧化物-半導體界面處產生正電荷區域,稱為空穴反轉區。
    MOS電容的基本架構
    需要施加一定的電壓才能產生電荷反轉區的特性稱為增強模式。N型半導體基底的MOS電容需要在門極施加負電壓才能形成反轉區,而P型半導體基底的MOS電容需要在門極施加正電壓。
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